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ATV公司于1972年成立于德國慕尼黑,業(yè)務(wù)專注于真空熱處理工藝設(shè)備,主要應(yīng)用在混合電路、半導(dǎo)體和表面貼裝領(lǐng)域。;理想的焊接系統(tǒng),帶快速退火功能的焊接回流爐(SRO),是一個多用途“冷壁”工藝焊爐。SRO是R&D,工藝研發(fā),由低至高產(chǎn)能生產(chǎn)的理想選擇。全自動生產(chǎn)能力可有多種方式實現(xiàn):與粘片機在線集成、與粘片機系統(tǒng)集成、盒對盒晶片傳送或帶機器人系統(tǒng)的襯底傳送. 應(yīng)用領(lǐng)域主要應(yīng)用領(lǐng)域為無缺陷焊接和無助焊劑焊接、IGBT封裝、焊膏工藝、管殼蓋板封裝、MEMS及真空封裝。
技術(shù)參數(shù) –尺寸: 960x720x1340(長、寬、高) –工作高度: 950 – 1050mm 可調(diào) –重量: 240kg –加熱區(qū)域尺寸: 313x240mm –加熱原理: 紅外輻射 –加熱方式: 上、下雙層紅外燈管陣列排放, 石英管套在燈管外層起到保護(hù)作用 –加熱區(qū)域: 分6個區(qū)域由各自的PID控制 –腔體門手動開關(guān);自動上鎖解鎖 –閉環(huán)式冷卻水循環(huán)系統(tǒng) –功率: 19kW –電源: 3 x 400VAC 50/60Hz; 32A –加熱板上方空間高度: 100mm –*高溫450°C –均溫性: 加熱板面積的85%區(qū)域內(nèi) (加熱板邊緣往里15mm), 均溫性< +/-2-3% –氦漏率 < 5,0 x 10-9mbar x l/s –直徑25mm前端可視窗 可選項 –真空 ?<5 x 10-2mbar, 機械干泵 ?<5 x 10-6mbar, 機械干泵/分子泵 –氣體分析 ?殘余氣體分析 ?O2 監(jiān)測 ?濕氣 (水) 監(jiān)測